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          ICP光譜分析系統及方法

            摘要:本發明提供了一種ICP光譜分析系統,包括炬管、光室,所述炬管設置在炬室內;進一步包括:壓力或時間測量單元,輸出端連接判斷人員設備,所述壓力測量單元設置在所述光室內;進氣閥門,設置在光室的進氣口上,輸入端連接控制人員設備;氣源通過進氣閥門與所述光室連通;排氣閥門,設置在光室的排氣口,輸入端連接控制人員設備;判斷人員設備,用于根據壓力或時間測量單元傳送來的信號而判斷所述光室內的吹掃氣體是否滿足測量的要求,判斷結果傳送來控制人員設備;控制人員設備,用于根據接收到的所述判斷結果而控制所述進氣閥門、排氣閥門的開啟、關閉。本發明具有智能化程度高、運行成本低等優點。
          • 專利類型發明專利
          • 申請人聚光科技(杭州)股份有限公司;
          • 發明人陳文益;俞曉峰;
          • 地址310052 浙江省杭州市濱江區濱安路760號
          • 申請號CN201110461598.0
          • 申請時間2011年12月31日
          • 申請公布號CN102565030A
          • 申請公布時間2012年07月11日
          • 分類號G01N21/73(2006.01)I;
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