高質量薄膜材料的制備已經成為新型材料與器件研究必不可少的部分。薄膜材料質量的好壞直接影響著研究結果和器件的最終性能。因此薄膜制備設備已成為新型材料和器件研究的重中之重。對于大多數薄膜材料，常用的制備手段有磁控濺射、熱蒸發、電子束蒸發、脈沖激光沉積等。這類在真空條件下采用物理方法將材料源（多數為固體）表面氣化成氣態原子或分子，或部分電離成離子，并通過低壓氣體（或等離子體）過程，在基片表面沉積具有某種特殊功能的薄膜稱為物理氣象沉積（PVD）。傳統設備中，一種設備只具備一種薄膜的制備手段，隨著研究的深入和器件的復雜化，往往一個樣品需要多種制備手段才能完成。樣品在不同設備中輪流進行加工制備增加了外界影響的可能性，對樣品的質量和可靠性有較大影響。因此，在一種設備中實現多種制備手段成為一種有效的解決方案。
英國Moorfield Nanotechnology公司生產的高精度薄膜制備與加工系統涵蓋了磁控/熱蒸發、磁控/電子束蒸發、有機物/金屬熱蒸發等多種制備手段。日前，QuantumDesign中國將一臺高質量磁控/電子束薄膜制備系統MiniLab-125安裝于復旦大學并順利驗收投入使用。該系統與其他設備進行真空互聯，實現了樣品的制備、表征全流程研究體系，成為了用戶對新型材料與器件研究的重要保障。
已安裝驗收并順利投入使用的磁控濺射/電子束蒸發薄膜制備系統MiniLab-125
Moorfield Nanotechnology是英國材料科學領域高性能儀器研發與制造公司，成立二十多年來專注于高質量的薄膜生長與加工技術，擁有雄厚的技術實力，推出的多種高性能設備受到科研與工業領域的廣泛好評。高精度薄膜制備與加工系統–MiniLab、臺式高性能多功能PVD薄膜制備系列—nanoPVD、臺式超精準二維材料等離子軟刻蝕系統—nanoETCH、臺式精準氣氛\壓力控制高溫退火系統—ANNEAL是經過多年技術積累與改進的旗艦系列產品。配置靈活、模塊化設計的系統，可滿足一種或多種薄膜制備功能，能夠滿足各種用戶的需求。產品推出以來已經交付于全球諸多高校和科研單位，并獲得用戶的一致好評。
高質量臺式熱蒸發系統T15A
高質量臺式磁控濺射系統S10A
高質量臺式磁控濺射&熱蒸發系統ST15A
高精度多功能薄膜制備系統-MiniLab系列
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