硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些的硅氫化合物。目前應用多的是甲硅烷。一般把甲硅烷簡稱做硅烷。
硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，可用于高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質硅、各種金屬硅化物。 因其高純度和能實現精細控制，已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷應用于微電子、光電子工業， 用于太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層， 并且是迄今上的大規模粒狀高純度硅的中間產物。硅烷的應用還在不斷出現, 包括用于陶瓷、復合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成為許多新、新材料、新器件的基礎。硅烷又以它的自燃、爆炸性而著稱。硅烷有寬的自發著火范圍和的燃燒能量，決定了它是一種高危險性的氣體。
危害辨識
眼接觸：硅烷會刺激眼睛。硅烷分解產生無定型二氧化硅。眼睛接觸無定型二氧化硅顆粒會引起刺激。
吸入：1.吸入高濃度的硅烷會引起頭痛、惡心、頭暈并刺激上呼吸道。
2.硅烷會刺激呼吸系統及粘膜。過度吸入硅烷會引起肺炎和腎病，這是由于存在結晶二氧化硅的原因。
3.暴露于高濃度氣體中還會由于自燃而造成熱灼傷。
攝入：攝入不可能成為接觸硅烷的途徑。
皮膚接觸：硅烷會刺激皮膚。硅烷分解產生無定型二氧化硅 。皮膚接觸無定型二氧化硅顆粒會引起刺激。
慢性癥狀：如今不清楚長期暴露于硅烷中對健康的進一步影響。
損害器官：未建立
過度暴露造成的病情惡化 ：有皮膚和呼吸道疾病的人暴露在硅烷及其分解物中會加重病情。
致癌性：未被 NTP、OSHA及IARC列為致癌物。
