硅烷注意事項:
1.系統溫度不可低于-170℉ (-112℃)，否則可能會吸入空氣形成爆炸性混合物。
2.不要讓硅烷與重金屬鹵化物或鹵素接觸，硅烷與它們劇烈反應。應仔細吹掃系統，以防殘留有脫脂劑，其中所含的鹵素或其他含氯的碳氫化合物。
3.用二至三倍的工作壓力對系統進行全面加壓檢漏，使用氦氣。此外，還應建立和執行常規的檢漏制度。
4.系統檢漏或因其他原因打開之后，應使用抽真空或惰性氣體吹掃的方法將系統中的空氣吹掃干凈。在打開任何裝有硅烷的系統之前用惰性氣體全面吹掃系統。如果系統中的任何部分有死角或可能殘留硅烷的地方，抽真空循環吹掃。
5.應將硅烷排放到一個處理它的地方，是將它燃燒掉。即使硅烷濃度較低也十分危險，不能暴露在空氣中。硅烷在被惰性氣體稀釋成不可燃的氣體后也可以排空。
6.應按照美國壓縮氣體協會的要求儲存和使用壓縮氣體。當地可能對儲存和使用氣體要求有的設備規定。
硅烷預防措施
工程控制：在使用和儲藏該產品的區域或其鄰近區域應安裝硅烷探測器。提供充足的自然或防爆通風以防止氣體濃度的增加，確保硅烷沒有達到1.4%燃燒下限。如適用，安裝自動監視設備來探測爆炸性混合空氣和氧含量。
控制參數：
八小時日時量平均容許濃度(TLV)：5ppm
短時間時量平均容許濃度(STEL)：-
容許濃度：-
生物指針：-
個人防護設備：
呼吸防護：
1.能引起快速窒息的高濃度也在其燃燒極限范圍內，不能進入。
2.緊急情況時需使用逃生用自給式呼吸器。
眼睛防護：
1.佩戴防濺眼鏡或有側防護的安全眼鏡和面罩。
2.確保使用該產品的附近區域有安全淋浴及洗眼器。
皮膚及身體防護：當操作鋼瓶時使用工作手套，在緊急情況時使用防火手套和防火衣。處理泄漏時戴兩副手套。
其其它防護設備：工作時使用恰當的身體防護用品，推薦使用防靜電衣，操作鋼瓶時建議穿安全鞋。
