教育裝備采購網訊：作為世界領先的離子束技術和系統制造商，牛津儀器等離子部的應用和技術團隊會定期發布技術白皮書，現在最新版的離子束蝕刻白皮書已經面世。
本期白皮書由公司的離子束應用技術資深專家Sebastien Pochon博士和Dave Pearson博士執筆，全面介紹了離子束蝕刻技術并闡述了其在蝕刻工藝中的主要應用和優勢(例如與等離子蝕刻對比)。白皮書首先綜述了離子束最初是如何產生的，而后又介紹并討論了離子束技術的工藝應用。
請聯系牛津儀器 process.news@oxinst.com獲取白皮書
牛津儀器等離子技術部應用團隊經理Robert Gunn這樣評價道：“我們資深的應用工程師團隊和技術人員不斷地在他們專業領域探索研究，以求為客戶提供最好的離子束和等離子系統;提供更多像這本白皮書一樣的技術資料，此外我們還擁有數量超過6000份的工藝資料庫”
作為世界領先的離子束技術和系統制造商，我們提供的離子束工具包括Ionfab300Plus，該設備有充分的靈活性進行刻蝕和/或沉積，并實現系統利用率最大化;Ionfab500Plus專為高品質光學薄膜設計;Optofab3000特別為高品質光學應用而開發。
