教育裝備采購網訊:12月22日,OFweek儀器儀表網將舉辦一場精彩的薄膜測量技術在線語音研討會——微型光纖光譜儀在膜厚測量中的應用?,F邀請廣大網友積極參與。
本次研討會邀請了海洋光學高級研發工程師文豪小姐進行主講,并且在研討會期間將由海洋光學光學工程師丁海峰為網友們現場答疑。
海洋光學作為微型光纖光譜儀的發明者,一直致力于光纖光譜儀,化學傳感器的研究,是全球領先的光傳感解決方案提供商,自1989年來在全球共售出近200,000套光譜儀,為OEM客戶提供靈活多樣的產品選擇,為工業科研用戶提供性能優越的系統解決方案,涉及領域涵蓋生物,環保,醫藥,光電,化工,教育等。
干涉膜厚儀nanocalc系列和橢偏儀specEI系列是海洋光學針對薄膜測量用戶推出的兩套解決方案,已經應用在半導體器件(如晶硅/非晶硅,SiO2,GaN,及半導體),金屬(Au,Ag等)鍍膜,多層減反射膜等光學薄膜,薄膜太陽能電池,光刻膠,透明導電薄膜(ITO,FTO,AZO等),OLED(PEDOT,AlQ3),硬質保護膜及封裝材料(PC,PET,PMMA等),鐵電介電薄膜(PbZr1-xTixO3,Si3N4)等薄膜厚度,光學參數(包括介電常數)的在線/離線檢測。根據配置選擇,測試范圍10nm-250μm,精度達0.1nm,對多層薄膜分析最多可達10層,研究用戶還可選擇膜厚分析軟件SCOUT建模處理復雜膜系。
當今微電子薄膜、光學薄膜、抗氧化薄膜、巨磁電阻薄膜、高溫超導薄膜等在工業生產和人類生活中的不斷應用,對于工業應用中的薄膜,其厚度是一個非常重要的參數,直接關系到該薄膜材料能否正常工作。如大規模集成電路的生產工藝中的各種薄膜,電路集成程度的不斷提高,薄膜厚度的任何微小變化,對集成電路的性能都會產生直接的影響。除此之外,薄膜材料的力學性能,透光性能,磁性能,熱導率,表面結構等都與厚度有著密切的聯系。
在人們對能精確測量薄膜厚度方法的迫切需求下,相應地,產生了許多測量薄膜厚度的方案。而在眾多類方法當中,光學方法是被應用最廣泛的方法。它相對于其它類方法具有快速、準確和不損傷薄膜等優點。近年來隨著高精度光學器件的產生和計算機的普及應用,測量薄膜厚度的光學方法也有了很大的改進。
這些測量方法按照其自身的特點可分成幾類。從不同的角度出發,也就會有不同的分類結果。綜觀當前眾多流行的分類方式,按照測量方法所依據的光學原理進行分類最具代表性,可分為干涉、衍射、透射、反射、偏振等。海洋光學所推出的干涉膜厚儀nanocalc系列和橢偏儀specEI系列正是基于反射原理測量膜厚儀器中的個中強者。
本期在線語音研討會簡介:
研討會主題:微型光纖光譜儀在膜厚測量中的應用
舉行公司:海洋光學亞洲分公司
時間:2011年12月22日10:00-11:00
現誠邀請廣大網友積極參與,欲參與此次在線語音研討會請點擊:http://webinar.ofweek.com/activityDetail.action?activity.id=4555210&user.id=2
將有機會獲取此次研討會的精美禮品。
海洋光學研發工程師文豪小姐
欲參與此次在線語音研討會請點擊:在線語音研討會——微型光纖光譜儀在膜厚測量中的應用。