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          成都真空設備廠家 Research桌面真空鍍膜機 全封閉框架結構 可定制

          成都真空設備廠家 Research桌面真空鍍膜機 全封閉框架結構 可定制
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          超邁光電
          CM-009
          高教 職教
          詳細說明

            1. 主體:全封閉框架結構,真空室為前開門方式,機柜和主機為一體式機構。采用優質0Cr18Ni9不銹鋼材料(SUS304),箱體尺寸為不小于φ350X400mm。設置DN100觀察窗口,位于真空腔體門正前方,骨架默認白色(或鋁合金本色),門板為白色,四只腳輪,可固定,可移動。室體、真空機組、磁控靶等有斷水報警鎖定安全裝置,能夠防止停水后出現安全隱患。

            2. 真空系統:

            2.1極限真空度:≤6.63×10-4Pa(空載、經充分烘烤除氣并充干燥氮氣)。

            2.2真空配置:高速直聯旋片泵一臺,抽速大于6L/S,超高分子泵一臺,抽速600L/s。

            2.3真空測量:兩路電阻規,一路電離規;對真空室和真空管道分別精確監控,帶數據通訊。

            3. 工件架系統:單工位4英寸工件盤,工件盤可加熱至500攝氏度,工件架真空室底部安裝,便于更換基片,轉速3~30rpm。

            4. 照明裝置:照明裝置1套。

            5. 磁控濺射系統:配置2-3個Φ50mm磁控靶,安裝于真空室頂部,向下濺射成膜。

            6.充氣系統:二路分別配置質量流量控制器,分別為0-100SCCM 1只,0-200SCCM1只,準確度±1% F.S,線性±0.5 % F.S,重復精度±0.2% F.S。

            7.循環冷卻水路:配置冷水機組與空壓機。

            8.電氣控制系統:采用功能化模塊設計方式,匹配西門子控制單元和MCGS人機界面,實現真空系統的自動控制,基本工作單元的控制,安全報警及故障信息顯示,并通過文字方式提示,軟件的功能和模塊可以根據實際需求進行單列或合并,但不得減少功能。

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