<acronym id="pokdi"><strong id="pokdi"></strong></acronym>
      <acronym id="pokdi"><label id="pokdi"><xmp id="pokdi"></xmp></label></acronym>

      <td id="pokdi"><ruby id="pokdi"></ruby></td>
      <td id="pokdi"><option id="pokdi"></option></td>
      <td id="pokdi"></td>

        1. 教育裝備采購網
          第三屆體育論壇1180*60
          教育裝備展示廳
          www.dongsenyule.com
          教育裝備采購網首頁 > 產品庫 > 產品分類大全 > 實驗室設備 > 實驗儀器及裝置 > 真空鍍膜機及附屬裝置

          成都真空設備廠家 research熱蒸發/磁控濺射 多靶復合磁控濺射鍍膜機 離子刻蝕機功能 可定制

          成都真空設備廠家 research熱蒸發/磁控濺射 多靶復合磁控濺射鍍膜機 離子刻蝕機功能 可定制
          <
          • 成都真空設備廠家 research熱蒸發/磁控濺射 多靶復合磁控濺射鍍膜機 離子刻蝕機功能 可定制
          >
          產品報價: 1200000
          留言咨詢
          加載中
          超邁光電
          CM-008
          高教 職教
          詳細說明

            ●主要功能:多靶復合磁控濺射鍍膜機,可滿足合金膜、單層膜、多層膜、導電膜、非導電膜和反應濺射的需要,具有極高的實用性和通用性(三靶、垂直與共濺射合一、在線清洗基片等),能夠提供高水平功能薄膜研制,特別適合于半導體、新能源、磁性材料、儲氫材料、二維材料、超硬薄膜、固體潤滑薄膜、自潔凈薄膜、等領域前沿研究,同時可選配等離子刻蝕功能和輔助鍍膜。

            1. 主體和腔室:全封閉框架結構,機柜和主機為一體式結構,骨架默認為白色,門板為白色,四只腳輪,可固定,可移動。真空腔室采用優質0Cr18Ni9不銹鋼材質(SUS304),腔體尺寸不小于為:?450x500mm;真空室為前開門方式,采用鉸鏈連接,自動鎖緊,并配有門到位開關,徹底杜絕誤操作;真空腔室設置DN100觀察窗口,位置在真空腔體正前方。

            2. 真空系統:

            2.1 極限真空度≤Pa(空載、經充分烘烤除氣并充干燥氮氣)。

            2.2 真空配置。 前級泵為機械真空泵,抽速優于8L/S,超高分子泵一臺,抽速1200L/S。

            2.3 真空測量:采用進口全量程真空計,優選德國萊寶與瑞士inficon。

            3. 工件盤系統:配備工件盤一套,可安裝4英寸基片1片,選配高溫工件盤<800℃。

            4. 磁控濺射系統:配置三只2-4英寸濺射陰極,三只靶均能兼容直流和射頻濺射,并可單獨自由切換,磁控靶安裝與真空室底部,向上濺射成膜。

            5.充氣系統:二路分別配置MFC質量流量控制器,均為0-100SCCM,準確度±1%F.S,線性±0.5%F.S,重復精度±0.2%F.S。

            5. 其他:配置斷水保護,配置冷水機組,冷水機制冷量為5000Kcal;設備配備小型靜音空壓機;保修期1年,維修響應時間不超過24小時。

            6. 操作系統及安全監控:采用人機界面+西門子PLC實現對設備集中自動控制;所有控制系統和電氣安裝均與主機集成在一起,避免控制柜與主機之間線路放在地上或從頂部引入帶來的問題,模塊化設計能確保社保維護維修的便捷性。

          留言咨詢
          姓名
          電話
          單位
          信箱
          留言內容
          提交留言
          聯系我時,請說明是在教育裝備采購網上看到的,謝謝!
          同類產品推薦
          99久久国产自偷自偷免费一区|91久久精品无码一区|国语自产精品视频在线区|伊人久久大香线蕉av综合

            <acronym id="pokdi"><strong id="pokdi"></strong></acronym>
              <acronym id="pokdi"><label id="pokdi"><xmp id="pokdi"></xmp></label></acronym>

              <td id="pokdi"><ruby id="pokdi"></ruby></td>
              <td id="pokdi"><option id="pokdi"></option></td>
              <td id="pokdi"></td>