真空爐廣泛用于電力電子器件、玻封二級管、氣體放電管、磁性材料、熱敏電阻等器件的真空燒結、封裝、焊接、合金、退火等工藝。
設備分類：從結構上分為臥式、立式、箱式，以真空度上分為低真空、高真空，從使用溫度上分為低溫、高溫，從真空室材料上分為石英管、耐熱不銹鋼管，從真空獲得上分機械泵、機械泵+擴散泵、機械泵+分子泵。
主要技術參數
◆工藝管數量：可根據客戶需求制作為1-4管
◆工藝管口徑：Φ90-360mm（3～12英寸）
◆結構型式：臥式熱壁型或立式
◆工作溫度范圍：400～1280℃
◆氣體流量設定精度:±1％F.S
◆氣路系統氣密性： 1×10-7pa.m3/s
◆恒溫區長度及精度±0.5℃/1080mm
◆工藝均勻性:≤±5％（30~60歐姆）
◆超凈工作臺：凈化等級：100級（萬級廠房）
噪音：≤62dB（A）
震動：≤3μm
◆控制方式： 工業微機控制
◆記錄工藝曲線數量及工藝步數不受限制
