KT-4019MRL4T精巧型真空腔體測試腔主要用于氣體敏感材料或其他對環境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ30，臺面可升溫到400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。該腔體設計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用軍工級別真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針處由3軸可移動探針手動調節移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學信號。
探針臺主要應用于傳感器，半導體，光電，集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。該探針臺采用純銀熱臺，導熱性較好，高溫不易變色，不易氧化。
該探針臺采用純銀熱臺，導熱性較好，高溫不易變色，不易氧化。
探針 | |
電信號接頭 | 配線轉接BNC接頭BNC三同軸接頭SMA 接頭香蕉插頭線長1.2米 |
電學性能 | 絕緣電阻≥4000MΩ介質耐壓≤200V 電流噪聲≤10pA |
探針數量 | 4探針（可擴展5探針） |
探針材質 | 鍍金鎢針（其他材質可選） |
探針尖 | 10μm |
手動探針移動平臺 | |
X軸移動行程 | 20mm ±10mm（需手動推動滑臺） |
X軸控制精度 | ≥500μm |
R軸移動行程 | 120° ±60°（需手動旋轉探針桿） |
R軸控制精度 | ≥500μm |
Z軸移動行程 | 2mm ±1mm |
Z軸控制精度 | ≤50μm（需手動螺紋調節探針桿） |
