摘要:本實用新型涉及一種用于測量物件尺寸的測量裝置。測量裝置包括:光源,用以產生低相干光;光纖耦合器,用于實現光信號的分路和合路;光纖,用于傳輸光信號;載物裝置,用于盛放被測物;檢測光纖準直儀,用于將光纖的光投射到載物裝置的基準面或位于載物裝置的被測物,以及將載物裝置的基準面或被測物反射的光耦合至光纖內;光路反射裝置,可改變光程且將光信號原路反射;光信號檢測處理裝置,用于檢測光信號是否發生干涉,并與光路反射裝置連接,計算兩次發生干涉時光程的改變量。本實用新型取得的有益效果:根據低相干光的干涉特性調整參考光程,通過光程差得出被測物厚度,該測量裝置簡單且精度高。
- 專利類型實用新型
- 申請人東莞市普密斯精密儀器有限公司;
- 發明人周峰;譚曉軍;杜勇剛;魏榮財;鄧崇凱;陳博;
- 地址523000 廣東省東莞市東城區上橋工業大道松浪街1號
- 申請號CN201620567526.2
- 申請時間2016年06月13日
- 申請公布號CN205808357U
- 申請公布時間2016年12月14日
- 分類號G01B11/06(2006.01)I;