摘要：本實用新型公開了一種基于自動跟蹤的自由曲面光學元件形貌測量系統，包括運動模塊、位置伺服模塊和雙頻激光干涉儀；所述運動模塊包括轉臺、導軌、音圈電機、滑塊和機架；所述位置伺服模塊包括彩色共焦位移傳感器、信號調理器、自動跟蹤控制器、音圈電機驅動器、光柵尺和光柵尺讀數頭；所述雙頻激光干涉儀包括激光器、平面干涉鏡組和可移動反光鏡；本實用新型采用探頭自動跟蹤的測量方式來擬合被測光學元件的形貌，能有效解決現有測量方法中探頭不動帶來的無法測量PV值較大的問題。同時采用彩色共焦測量原理，能使測量精度和分辨率都達到納米級，測量量程達到10mm，彌補了現有探頭對被測光學元件有可能造成損傷、精度不高和量程有限的問題。
- 專利類型實用新型
- 申請人浙江大學;
- 發明人居冰峰;杜慧林;曾培陽;孫安玉;孫澤青;
- 地址310027 浙江省杭州市西湖區浙大路38號
- 申請號CN201620162659.1
- 申請時間2016年03月03日
- 申請公布號CN205655804U
- 申請公布時間2016年10月19日
- 分類號G01B11/24(2006.01)I;
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