摘要：本發明公開了一種非球面非零位干涉檢測中部分補償透鏡方法。它由激光器出射的細光束經準直擴束系統后被擴束為平行寬光束，平行光入射至鍍有半反半透膜的分光板后，一部分入射光被反射，反射光束被平面參考鏡反射后再次返回分光板；另一部分入射光被透射，透射光束向前傳播入射至輔助對準平板后返回；返回的反射光和返回的透射光在分光板處相遇發生干涉，形成干涉圖，經成像系統后成像于探測器處；調節對準平板與部分補償透鏡相對于入射光的傾斜度，使探測器得到零條紋干涉圖，移去對準平板，實現部分補償透鏡的傾斜對準。本發明解決了非球面非零位干涉檢測中部分補償透鏡對準誤差問題，減少了其誤對準對檢測結果引入的調整誤差。
- 專利類型發明專利
- 申請人浙江大學;
- 發明人楊甬英;田超;張磊;韋濤;
- 地址310027 浙江省杭州市西湖區浙大路38號
- 申請號CN201410010751.1
- 申請時間2012年03月02日
- 申請公布號CN103776388B
- 申請公布時間2016年06月01日
- 分類號G01B11/24(2006.01)I;
教育裝備采購網在線客服
京公網安備11010802043465號
