摘要:本申請公開了一種大尺寸平面鏡片面型精度值測量方法,包括:根據大尺寸平面鏡片的面積以及測量區域計算測量次數;按照所述測量次數依次移動所述大尺寸平面鏡片,每次在大尺寸平面鏡片表面選取所述測量區域,并對所述測量區域進行面型精度值測量,依次獲取面型精度值,其中,移動距離小于所述測量區域中在移動方向上的最大直線距離;將所述依次獲取的面型精度值進行拼接,得到大尺寸平面鏡片面型精度值。本申請公開的一種大尺寸平面鏡片面型精度值測量方法能夠準確并快速的對大尺寸平面鏡片面型精度值進行測量。本申請還提供一種大尺寸平面鏡片面型精度值測量系統。
- 專利類型發明專利
- 申請人長春博信光電子有限公司;
- 發明人胡天佐;單明星;夏巖巖;
- 地址130012 吉林省長春市高新區卓越東街155號
- 申請號CN201610457511.5
- 申請時間2016年06月22日
- 申請公布號CN106152970A
- 申請公布時間2016年11月23日
- 分類號G01B11/24(2006.01)I;