摘要:本實用新型實施例公開了一種水冷籽晶桿,該籽晶桿用于連接籽晶夾頭及籽晶,所述水冷籽晶桿由空心內管和U字形外管構成,內管和外管之間采用水密封連接;外管側上部設有用于出水的水嘴,外管底部設置有和籽晶夾頭連接的接口,外管內空腔底部中心設有內管定位固定槽,用于定位和固定內管下端;內管下端插在所述的定位固定槽內,內管側部在高于定位固定槽上端面的一定高度開設出水孔,上述籽晶桿內管被有效定位和固定,有效解決了長籽晶桿容易振動、制造過程出水口高度不容易控制以及內管不易居中的問題,保證長晶過程順利有效進行。
- 專利類型實用新型
- 申請人上海晨華科技股份有限公司;
- 發明人王維;徐煒;孫礦;
- 地址201804 上海市嘉定區黃渡工業園區春濃路278號
- 申請號CN201521046052.9
- 申請時間2015年12月16日
- 申請公布號CN205223406U
- 申請公布時間2016年05月11日
- 分類號C30B15/32(2006.01)I;C30B17/00(2006.01)I;