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          一種基于雙SOI壓力芯體高溫差壓傳感器結構

            摘要:本實用新型屬于差壓測量技術,涉及一種雙SOI壓力芯體高溫差壓傳感器結構。本實用新型差壓傳感器結構由接管嘴、SOI壓力芯體、補償電路板、外筒和電連接器組成,SOI壓力芯體焊接在接管嘴的安裝孔內,其中一個SOI壓力芯體與負壓測量端連通,另一個SOI壓力芯體與正壓測量端連通,實現正負差壓壓力測量,補償電路板焊接在壓力芯體的對應引腳上,外筒與接管嘴激光焊接固定,同時電連接器與外筒激光焊接固定,補償電路板的輸出端與電連接器連接,外筒內腔灌封膠,接管嘴的凹槽內采用O型密封圈對正反壓力端密封。本實用新型適用于氣液等介質差壓壓力的測量方案,滿足傳感器小型化的要求,可實現高精度、寬量程的高溫差壓測量。
          • 專利類型實用新型
          • 申請人武漢中航傳感技術有限責任公司;
          • 發明人張博;吳虹;陳雙;
          • 地址430074 湖北省武漢市洪山區東湖東路2號
          • 申請號CN201420702254.3
          • 申請時間2014年11月20日
          • 申請公布號CN204269283U
          • 申請公布時間2015年04月15日
          • 分類號G01L13/06(2006.01)I;
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