摘要：本實用新型公開了一種多晶硅鑄錠爐熱場結構，由固定隔熱籠、底部隔熱板和頂部隔熱板所形成的中空爐腔；設置在爐腔中央，用于作為晶體生長的容器的坩堝，其底部通過石墨支撐支撐，石墨支撐底部設置有熱交換塊；以及中空夾層結構的隔熱塊，其同軸套裝在熱交換塊的外周，其中隔熱塊的內壁與熱交換塊外周壁面具有間隙，外壁固定設置在固定隔熱籠內壁上，該隔熱塊頂部低于熱交換塊頂部所在平面。本實用新型的熱場結構優化了石墨支撐側壁附近流場及溫度場分布，不僅可以降低化料過程能耗，而且可以有效抑制形核初期坩堝底部側壁附近晶粒的快速生長，可以獲得微凸和較為平直的凝固界面，能夠降低硅錠內部熱應力，減少微觀破裂的產生，從而提高定向凝固多晶硅錠質量。
- 專利類型實用新型
- 申請人華中科技大學;
- 發明人方海生;王森;趙超杰;田俊;張之;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區珞喻路1037號
- 申請號CN201420669666.1
- 申請時間2014年11月11日
- 申請公布號CN204265887U
- 申請公布時間2015年04月15日
- 分類號C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;
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