摘要:一種多晶硅鑄錠爐的錐形導流筒結構,其包括固定套管(1),導流筒本體(2),所述導流筒本體(2)置于固定套管(1)中,導流筒本體(2)的下端呈錐形,錐形小端的直徑小于坩堝蓋板(3)中心孔(11)的直徑,導流筒本體(2)的錐形下端能夠伸入坩堝蓋板(3)的下方。本實用新型通過獨特的結構設計,可以降低導流筒本體(2)下端與硅熔體(8)水平距離(9),從而提高進氣氣體的吹掃能力,因此硅晶體的碳氧等雜質含量比傳統導流筒結構的雜質含量要低,晶體質量也有提高。
- 專利類型實用新型
- 申請人湖南大學;
- 發明人呂鐵錚;
- 地址410082 湖南省長沙市岳麓區麓山南路
- 申請號CN201420322224.X
- 申請時間2014年06月17日
- 申請公布號CN203923456U
- 申請公布時間2014年11月05日
- 分類號C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;