摘要:本實用新型涉及設備安裝技術領域,尤其涉及一種爐體裝卸移動裝置。該爐體裝卸移動裝置包括支架、中間輸送架、前輸送架、腳輪和定位機構,支架頂部的中間輸送架及與中間輸送架連接的前輸送架上設置滾動件,在支架的底部設置腳輪和支架的一側設置定位機構,在爐體裝卸時,可將支架推至半導體擴散設備的一側,前輸送架插入半導體擴散設備中,并通過定位機構將支架定位好后,可通過滾動件方便地將爐體移出或移入半導體擴散設置中,進而方便了半導體擴散設備中爐體的安裝和拆卸,提高了工作效率。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人林欣家;郝琪;董金衛;譚瑞雷;
- 地址100015 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請號CN201320883575.3
- 申請時間2013年12月30日
- 申請公布號CN203740453U
- 申請公布時間2014年07月30日
- 分類號B65G13/00(2006.01)I;B65G13/12(2006.01)I;