摘要：本實用新型公開了一種激光硅片切割夾具，包括底座、支撐桿、支撐面、硅片吸桿和吸氣管，所述底座面和所述支撐面平行，且通過所述支撐桿連接，所述支撐面為圓環形；所述底座上設置若干根平行于所述支撐桿的硅片吸桿，所述硅片吸桿頂端面設有吸盤；所述底座面上設有吸氣管，所述底座側面還設有吸氣接口，所述吸氣管和所述吸氣接口通過底座內部連通。本實用新型通過吸附功能的硅片吸桿將硅片牢牢吸附在夾具支撐面上，同時設置吸氣管在切割過程中吹氣保證了切割邊緣的完整性，結構簡單、操作方便而且極具實用性。
- 專利類型實用新型
- 申請人武漢瑞豐光電技術有限公司;
- 發明人廖衛寧;李必剛;陳燎原;
- 地址430073 湖北省武漢市東湖開發區關山二路特1號國際企業中心
- 申請號CN201320441408.3
- 申請時間2013年07月23日
- 申請公布號CN203401254U
- 申請公布時間2014年01月22日
- 分類號B23K37/04(2006.01)I;B23K26/42(2006.01)I;
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