摘要：本實用新型提供了一種帶離子阱的脈沖式輝光放電離子源，包括：電源、能夠產生離子的放電體C和離子引出電極B2，放電體C的高壓端連接電源，低壓端通過相互串聯的限流電阻R1和高壓開關S1接地，離子引出電極B2的一端通過分壓電阻R3連接放電體C的高壓端，另一端通過相互串聯的分壓電阻R2和高壓開關S2接地，放電體C包括兩個位置相對的正負放電電極和筒狀可提供穩定的脈沖輝光放電區域的離子源電極筒，該正負放電電極通過開設在離子源電極筒側壁上的開孔伸入到離子源電極筒內。本實用新型所述脈沖式輝光放電離子源，實現了脈沖離子流強度及脈寬的可調控。同時克服了離子附著離子源管壁的問題，減少了離子損失，提高了離子引出率。
- 專利類型實用新型
- 申請人武漢矽感科技有限公司;上海矽感信息科技有限公司;
- 發明人劉立秋;馬軍;張偉;顏毅堅;徐翔;張亦揚;
- 地址430000 湖北省武漢市東西湖區臺商投資區吳南路4號
- 申請號CN201220592316.0
- 申請時間2012年11月12日
- 申請公布號CN202905664U
- 申請公布時間2013年04月24日
- 分類號H01J49/10(2006.01)I;
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