摘要：本實用新型公開了一種太陽能硅電池濕法刻蝕機刻蝕段雙層抽風系統，所述系統為水平傳輸的鏈式結構，其特征在于：所述系統包括槽體、第一層蓋板和第二層蓋板，在槽體刻蝕段入料方向與出料方向各有一個抽風口；所述抽風口連接槽體第一層蓋板，該蓋板上設有抽風分流口，同時該蓋板還設有進新風口；所述第一層蓋板與第二層蓋板之間設置一層緩沖區；所述緩沖區下方安裝第二層蓋板，該蓋板上密集的開了若干小孔。本實用新型的有益效果是：利用第一層蓋板進行抽風壓力的第一次分流，經過緩沖區緩沖與均勻化以后，第二層蓋板整個刻蝕區抽風十分均勻，解決了原刻蝕機因抽風段抽風不均勻所引起的硅片方塊電阻不均勻的飄升現象，保證了電池片出片的品質。
- 專利類型實用新型
- 申請人蘇州晶洲裝備科技有限公司;
- 發明人錢誠;吳兵;
- 地址215555 江蘇省常熟市辛莊光伏產業園光華環路32號
- 申請號CN201220111882.5
- 申請時間2012年03月21日
- 申請公布號CN202855716U
- 申請公布時間2013年04月03日
- 分類號H01L21/306(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;
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