摘要：本發明涉及一種多晶硅制絨刻蝕廢液的處理方法，它包括以下步驟：（a）在攪拌條件下，向廢液中加入堿金屬化合物反應至不再產生沉淀，過濾得第一沉淀和第一濾液；（b）在攪拌條件下，向所述第一濾液中加入堿土金屬化合物反應至不再產生沉淀，過濾得第二沉淀和第二濾液；（c）對所述第二濾液進行濃縮結晶得硝酸鹽固體。本發明多晶硅制絨刻蝕廢液的處理方法，通過向廢液中加入堿金屬化合物反應至不再產生沉淀，過濾后向濾液中加入堿土金屬化合物再過濾，最后濃縮，這樣能夠將廢液中的氟硅酸根離子、氟離子除去，并得到氟硅酸鹽、氟化鹽及硝酸鹽固體，既能夠保護環境，又能夠產生新的經濟效益。
- 專利類型發明專利
- 申請人蘇州晶洲裝備科技有限公司;
- 發明人蔣新;朱信俊;施利君;柳小平;
- 地址215555 江蘇省蘇州市常熟市辛莊鎮光伏產業園光華環路32號
- 申請號CN201510379906.3
- 申請時間2015年07月02日
- 申請公布號CN104986771A
- 申請公布時間2015年10月21日
- 分類號C01B33/10(2006.01)I;C01B9/08(2006.01)I;C01F5/38(2006.01)I;C01F11/36(2006.01)I;
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