摘要:本實用新型公開了一種用于橢偏測量系統的樣品方位校準的裝置,包括光學自準直望遠系統和顯微物鏡組,光學自準直望遠系統包括光學器件套筒,在該光學器件套筒的底部固定設置有滑動裝置,滑動裝置上設置有能夠水平移動的顯微物鏡組,顯微物鏡組在滑動裝置上滑動以實現其與光學器件套筒的光軸重合或遠離。本實用新型采用了自準直望遠系統和顯微系統結合的方式,通過滑動裝置帶動顯微物鏡離開或進入光學器件套筒的光軸,來實現自準直望遠系統和顯微系統的功能簡單切換。本實用新型的優點在于:該系統外形小巧、結構簡單、觀察快速、操作簡捷。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京量拓科技有限公司;
- 發明人孟永宏;趙鑫;
- 地址100098 北京市海淀區大鐘寺東路9號京儀科技大廈C座309室
- 申請號CN201020172663.9
- 申請時間2010年04月22日
- 申請公布號CN201681041U
- 申請公布時間2010年12月22日
- 分類號G01N21/21(2006.01)I;G02B23/10(2006.01)I;