摘要：本發明涉及一種多波長入射單發橢偏測量方法，首先提供寬光譜激光光源、寬帶偏振片、樣品、擴束鏡、寬帶1/4波片、晶體斜劈、寬帶檢偏器、狹縫、透射光柵、成像屏、面陣相機以及計算機，通過雙折射晶體斜劈的偏光干涉將光偏振態的變化轉換成一維條紋光斑的移動，采取合理光路設計將多波長入射光對應的條紋分布在另外一個維度上，利用圖像技術對光斑內的多組條紋進行定位和處理，在單次測量中即可獲得各個波長對應的偏振態信息。本發明的測試方法無機械旋轉或光學調制器件，而且測量結果與光強波動無關，可以極大減小系統的測量誤差，提高測量的穩定性。本發明的測量速度只受限于相機采集速度，結合高速線陣相機，可以將時間分辨率縮短到毫秒以下。
- 專利類型發明專利
- 申請人福州大學;
- 發明人馬靖;許燦華;裴麗燕;邱鑫茂;呂佩偉;
- 地址350108 福建省福州市閩侯縣上街鎮大學城學園路2號福州大學新區
- 申請號CN201510830357.7
- 申請時間2015年11月25日
- 申請公布號CN105403514A
- 申請公布時間2016年03月16日
- 分類號G01N21/21(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I;G01N21/45(2006.01)I;
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