摘要：本發明公開了一種用于橢偏測量系統中入射角度自動探測的裝置，包括用于產生具有偏振態的探測光波、并將其入射到樣品上的起偏臂，用于對經樣品反射后光波進行偏振態再調制和光能量檢測的檢偏臂，用于支撐起偏臂和檢偏臂的基板，其中，基板上設置有若干個位置探測開關，起偏臂和檢偏臂上均設置有用于觸發位置探測開關的觸發裝置，起偏臂和檢偏臂轉動到不同的位置，安裝在其上的觸發裝置將改變位置探測開關的狀態，從而獲得該入射角度、反射角度的信號，以實現起偏臂和檢偏臂的位置探測、及入射角度的自動探測。本發明提供的用于橢偏測量系統中角度自動探測的裝置和方法結構簡單易于實現，具有成本低、快速、高效、自動化、高可靠性的優點。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京量拓科技有限公司;
- 發明人孟永宏;楊濤;
- 地址100098 北京市海淀區大鐘寺東路9號京儀科技大廈C座309室
- 申請號CN201010137774.0
- 申請時間2010年03月30日
- 申請公布號CN101846616B
- 申請公布時間2012年07月04日
- 分類號G01N21/21(2006.01)I;
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