摘要：本發明涉及一種多角度入射單發橢偏測量方法，首先提供激光束聚焦柱透鏡、樣品、準直柱透鏡、1/4波片、晶體斜劈、檢偏器、成像屏、面陣相機以及計算機，再通過雙折射晶體斜劈的偏光干涉將光偏振態的變化轉換成一維條紋光斑的移動，其次采取合理光路設計將多角度入射對應的條紋分布在另外一個維度上，最后利用圖像技術對光斑內的多組條紋進行定位和處理，在單次測量中即可獲得多組偏振態信息。本發明的測試方法無機械旋轉或光學調制器件，測量速度只受限于相機采集速度，而且測量結果與光強波動無關，可以極大減小系統的測量誤差，提高測量的穩定性。
- 專利類型發明專利
- 申請人福州大學;
- 發明人馬靖;許燦華;裴麗燕;邱鑫茂;施洋;
- 地址350108 福建省福州市閩侯縣上街鎮大學城學園路2號福州大學新區
- 申請號CN201510235765.8
- 申請時間2015年05月11日
- 申請公布號CN105181604A
- 申請公布時間2015年12月23日
- 分類號G01N21/21(2006.01)I;
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