摘要：本實用新型涉及自動控制的硅片檢查系統，包括一操作臺，操作臺上有取送硅片的機械手、硅片盒平臺、硅片表面檢查機構、載物臺、鏡頭組、抽真空裝置，以及控制所述各裝置的計算機系統。機械手包括水平、垂直、旋轉三維動作機構，完成在某一高度下與水平運動方向成一角度的直線運動。硅片盒平臺包括一曲柄連桿機構，連桿支撐一俯仰擺動的翻轉板，翻轉板上放置硅片盒。硅片表面檢查機構設置有一可進行水平公轉、俯仰擺動、自轉的真空吸盤，吸盤上放置硅片。載物臺包括帶動上層導軌組和載物平臺一起進行粗定位的下層導軌組，上層導軌組再帶動載物平臺進行精定位，載物臺上方設置鏡頭組。本實用新型取送觀察硅片快捷方便，并且各裝置可組合應用，也可單獨應用。
- 專利類型實用新型
- 申請人陳百捷;北京自動化技術研究院;
- 發明人陳百捷;徐偉新;姚廣軍;
- 地址100176北京市亦莊經濟開發區大雄郁金香20號樓B-102
- 申請號CN200820123778.1
- 申請時間2008年11月20日
- 申請公布號CN201298024Y
- 申請公布時間2009年08月26日
- 分類號G01N21/95(2006.01)I;G01N35/10(2006.01)I;
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