摘要:一種高精度三自由度運動平臺,X,Y和θ,運動行程小,精度高。運動行程X,Y小于3mm,θ角度小于5°,分辨率高達20納米。該平臺以二層結構實現三自由度運動為特征,使用彈性支撐直線電機驅動,四個光柵傳感器反饋運動信號,侍服閉環運動控制系統。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京慧摩森電子系統技術有限公司;
- 發明人牛懷新;歐鐘;
- 地址100083北京市北四環中路238號柏彥大廈1309室
- 申請號CN200510098315.5
- 申請時間2005年09月08日
- 申請公布號CN1921026A
- 申請公布時間2007年02月28日
- 分類號G12B9/10(2006.01);G12B5/00(2006.01);