摘要：一種高精度三自由度運動平臺，X，Y和θ，運動行程小，精度高。運動行程X，Y小于3mm，θ角度小于5°，分辨率高達20納米。該平臺以二層結構實現三自由度運動為特征，使用彈性支撐直線電機驅動，四個光柵傳感器反饋運動信號，侍服閉環運動控制系統。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京慧摩森電子系統技術有限公司;
- 發明人牛懷新;歐鐘;
- 地址100083北京市北四環中路238號柏彥大廈1309室
- 申請號CN200510098315.5
- 申請時間2005年09月08日
- 申請公布號CN1921026A
- 申請公布時間2007年02月28日
- 分類號G12B9/10(2006.01);G12B5/00(2006.01);
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