摘要：本發明公開了一種基于白光干涉原子力探針掃描顯微鏡探針系統的成像自動調整裝置自動及其控制方法，該裝置主要包括計算機，夾持機構及鉸鏈機構，原子力探針及其探針組件，白光干涉顯微系統，面CCD光路連接筒。在白光干涉原子力探針顯微鏡連接完成的情況下，根據面CCD上探針的成像與面CCD坐標系的水平夾角，通過計算機來控制舵機偏轉一定的角度，使得原子力探針在面CCD中的成像與面CCD坐標系中的夾角在誤差范圍內，從而得到測量的結果有較小的測量誤差。本發明可以實現探針在面CCD中的成像的自動調整，具有便捷控制，控制精度高，操作簡單的優勢。
- 專利類型發明專利
- 申請人華中科技大學;
- 發明人盧文龍;曾春陽;劉曉軍;庾能國;楊文軍;周莉萍;常素萍;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區珞喻路1037號
- 申請號CN201610145779.5
- 申請時間2016年03月15日
- 申請公布號CN105699704B
- 申請公布時間2016年12月14日
- 分類號G01Q60/24(2010.01)I;
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