摘要：本發明公開了一種面、線CCD組合的白光干涉原子力探針掃描顯微鏡測量系統及其測量方法，該測量系統包括面、線CCD測量系統，原子力探針掃描顯微鏡組件，干涉光源系統，調整系統以及數據處理系統；干涉光源系統用于產生測試的白光光源傳輸于原子力探針掃描顯微鏡組件，其產生包含樣品信息的干涉條紋；數據處理系統連接所述面、線CCD測量系統，分析所述干涉條紋，由此實現干涉零級條紋的測量，從而獲得樣品表面信息。按照本發明實現的面、線CCD組合的白光干涉原子力探針掃描顯微鏡測量系統及其測量方法，能夠實現結構簡單，高速度，高精度和高分辨率以及直觀測量，由此解決原子力探針對焦困難，以及原子力探針微懸臂變形的檢測的問題。
- 專利類型發明專利
- 申請人華中科技大學;
- 發明人盧文龍;庾能國;劉曉軍;楊文軍;常素萍;曾春陽;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區珞喻路1037號
- 申請號CN201510061415.4
- 申請時間2015年02月05日
- 申請公布號CN104614558A
- 申請公布時間2015年05月13日
- 分類號G01Q60/24(2010.01)I;G01Q20/02(2010.01)I;
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