摘要：本發明公開了一種可溯源白光干涉原子力探針自動定位工件方法，該方法包括如下步驟：在納米級位移平臺運動之前記錄下激光干涉位移計量系統的初始位移；接著其在垂直方向上快速產生一個適量的位移，在位移發生后通過零級條紋的移動量是否在閾值范圍內來判斷原子力探針是否定位到工件，而如果納米級垂直位移平臺在到達極限的位移運動時還未定位到工件，記錄下其最終位置，并將納米級垂直位移平臺復位，重復上述步驟，直至定位到工件。按照本發明設定的自動定位的方法，不受原子力探針與工件之間的距離限制，同時在定位過程中對位移進行計量，可實現可溯源，而采用零級條紋的移動量來判斷探針是否定位到工件具有定位快速和高精度的顯著效果。
- 專利類型發明專利
- 申請人華中科技大學;
- 發明人盧文龍;庾能國;劉曉軍;楊文軍;曾春陽;周莉萍;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區珞喻路1037號
- 申請號CN201510703077.X
- 申請時間2015年10月26日
- 申請公布號CN105242074B
- 申請公布時間2016年06月22日
- 分類號G01Q10/00(2010.01)I;
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