摘要：本發明公開了一種保持質譜內部真空條件下更換離子源的質譜儀，包括電離室、質譜發生室和真空封堵接口組件，真空封堵接口組件為兩端開口的管道結構；三者之間密封串接構成供離子穿過的通道；真空封堵接口組件的管道結構內設置隔板，隔板的中部開有貫通的封堵口；真空封堵接口組件還包括封堵板和驅動組件，驅動組件驅動封堵板移動至封堵口處，封堵板在負壓下封堵封堵口。本發明公開的質譜儀在盡量減小質譜發生室內真空狀態破壞程度的情況下，實現了離子源的拆裝；而且，離子源更換后，只需要抽取離子源所在區域的真空，該區域體積較小，抽真空的時間明顯縮短，提高了生產效率。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京凱爾科技發展有限公司;
- 發明人張振華;胡曉光;魏文;
- 地址100085 北京市海淀區上地東路1號院3號樓1層101
- 申請號CN201510605489.X
- 申請時間2015年09月21日
- 申請公布號CN105047521A
- 申請公布時間2015年11月11日
- 分類號H01J49/26(2006.01)I;
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