摘要：本發明涉及一種用于研究等離子體-小分子體系反應的質譜裝置。所述用于研究等離子體-小分子體系反應的質譜裝置包括等離子體-小分子反應單元(1)，飛秒激光電離系統(2)，離子提取系統(3)，質量分析器(4)，真空腔體(5)。其中，納秒激光濺射固體靶材用于產生等離子體，氣相小分子經過毛細管進入等離子體產生區域，并且與等離子體在靶材表面附近發生反應。采用飛秒激光電離技術對反應產物進行電離，最后，結合飛行時間質譜技術對反應產物進行分析并加以確認。該裝置可以準確、高效、實時地表征等離子體與氣相分子反應的產物構成，為生產加工過程中所存在的實際的等離子體與氣體反應的準確認知提供模型支持。
- 專利類型發明專利
- 申請人中國科學院大連化學物理研究所;
- 發明人劉本康;王利;王艷秋;邊晨光;李曉營;
- 地址116023 遼寧省大連市中山路457號
- 申請號CN201410787348.X
- 申請時間2014年12月17日
- 申請公布號CN105762055A
- 申請公布時間2016年07月13日
- 分類號H01J49/26(2006.01)I;G01N27/62(2006.01)I;
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