摘要：本發明涉及高速大容量光纖通信系統中的硅基集成光電子器件——超高速鍺硅光電探測器，包括幾個物理上分離的地極和一個信號極，所述地極之間通過一段或幾段導線連接，所述一段或幾段導線形成的總電感量為50pH至900pH。本發明通過Wire?Bonding技術，在現有的鍺硅光電探測器電極中引入具有特定電感量的導線，使得器件在高頻處帶寬曲線有一定抬升。本發明在沒有增加工藝復雜度、不影響器件其它性能參數的情況下，實現了一種超高帶寬鍺硅光電探測器。
- 專利類型發明專利
- 申請人華中科技大學;
- 發明人余宇;陳冠宇;張新亮;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區珞喻路1037號
- 申請號CN201510311785.9
- 申請時間2015年06月09日
- 申請公布號CN104952940A
- 申請公布時間2015年09月30日
- 分類號H01L31/02(2006.01)I;
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