摘要：本發明公開了一種基于超材料的肖特基型太赫茲多譜信號探測器，包括自下而上依次設置的襯底層、N型砷化鎵層、二氧化硅層與超材料層、歐姆電極和肖特基電極；其中超材料層為具有周期性微納米結構的金屬開環共振單元陣列，金屬開環共振單元陣列包含了多種圖形及其特征尺寸參數，每個圖形對于特定電磁波具有完全吸收特性，通過改變金屬開環共振單元的結構和尺寸參數可以調控對應的電磁波吸收頻段，通過改變N型砷化鎵的耗盡層寬度可以調控超材料層中金屬開環共振單元陣列的電磁波吸收強度。本發明具有多譜、高靈敏度和高速特性，通過選擇不同金屬開環共振單元結構并進行單片集成可以將探測器工作于太赫茲的多個波段。
- 專利類型發明專利
- 申請人華中科技大學;
- 發明人羅俊;別業華;李維軍;張新宇;佟慶;雷宇;桑紅石;張天序;謝長生;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區珞喻路1037號
- 申請號CN201410455189.3
- 申請時間2014年09月09日
- 申請公布號CN104241401B
- 申請公布時間2016年06月01日
- 分類號H01L31/02(2006.01)I;H01L31/08(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;
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