摘要：本發明公開了一種超高真空環境下緊湊型高精度多維旋轉機構，包括有的相互配合安裝的云臺旋轉組件、極向旋轉組件和環向旋轉組件，所述環向旋轉組件的云臺框架與云臺旋轉組件的旋轉云臺配合安裝，所述極向旋轉組件的極向推動連桿從環向旋轉組件的環形旋桿的內部穿過，且極向推動連桿與環形旋桿配合的末端處安裝有真空容器壁或真空法蘭，所述真空容器法蘭使其左端云臺旋轉組件以及部分極向旋轉組件和環向旋轉組位于真空環境內。本發明結構設計合理，其結構緊湊、占用空間小、精度高，尤其適用于等離子體物理實驗裝置中的診斷設備、光學調整設備、真空鍍膜機內部靶板或樣品臺、以及各類真空和超高真空條件下的高精度多維旋轉機構。
- 專利類型發明專利
- 申請人合肥聚能電物理高技術開發有限公司;
- 發明人李波;王曉潔;吳杰峰;劉甫坤;宋春;
- 地址230031 安徽省合肥市董鋪島
- 申請號CN201410187093.3
- 申請時間2014年05月05日
- 申請公布號CN103982758A
- 申請公布時間2014年08月13日
- 分類號F16M11/12(2006.01)I;F16M11/18(2006.01)I;
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