摘要：本發明公開了一種快充氣型微正壓保護系統，包括：經依次順序連接的第一開關閥2、第一減壓閥3和第二減壓閥4分為兩條支路，其中，一條支路經第一流量計5與毛細管6一端相連，另一支路經第二流量計7與第二開關閥8一端相連，毛細管6另一端和第二開關閥8另一端接過濾器9的一端，過濾器9另一端與目標腔體10一端相連，目標腔體10另一端與節流部件14相連，其中，所述目標腔體10為密封腔體，其內壁上布置有測量腔內壓力的壓力傳感器11、用于測量腔內氣體純度的成分檢測儀12、以及過壓保護閥13。本發明實現了微正壓保護系統初始化過程的快速充氣功能，縮短了系統的初始化時間，同時還保證目標腔體在工作過程中的微正壓穩定。
- 專利類型發明專利
- 申請人華中科技大學;
- 發明人李小平;雷敏;馮加云;方宇翔;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區珞喻路1037號
- 申請號CN201410204253.0
- 申請時間2014年05月15日
- 申請公布號CN103970159B
- 申請公布時間2016年06月01日
- 分類號G05D16/20(2006.01)I;H01S3/036(2006.01)I;
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