摘要：本發明提供了一種基于特殊石英材料的聲表面波溫度傳感器，包括一個叉指電極、若干個反射柵條和襯底材料，所述叉指電極以重疊加權的形式設置在所述襯底材料上，所述若干個反射柵條以預定的相位點陣加權的形式設置在所述襯底材料上，進一步提高了器件的Q值。本發明采用聲表面波器件將溫度變化量轉化為器件中心頻率的變化量，并經將頻率的變化量輸出，具有較高的采樣速度和精度。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京中訊四方科技股份有限公司;
- 發明人張敬鈞;董啟明;
- 地址100194 北京市海淀區蘇家坨鎮聶各莊路7號
- 申請號CN201310012890.3
- 申請時間2013年01月14日
- 申請公布號CN103926017A
- 申請公布時間2014年07月16日
- 分類號G01K11/22(2006.01)I;
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