摘要：本發明公開了一種半導體工廠設備的分布式管理系統，包括設備服務端，數據中心服務器以及遠程終端。其中，設備服務端與半導體工廠內的各設備進行數據交互；數據中心服務器與設備服務端和遠程終端相連，并進行數據交互；遠程終端通過所述數據中心服務器獲取各設備的數據以及對各設備進行數據管理。本發明能夠輔助使用者對半導體工廠設備進行遠程托管。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人魏靖南;張立超;鐘結實;賈軼群;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201410058363.0
- 申請時間2014年02月20日
- 申請公布號CN103763401A
- 申請公布時間2014年04月30日
- 分類號H04L29/08(2006.01)I;
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