摘要：本發明涉及一種半導體熱處理設備的熱電偶故障診斷與處理方法及系統，該系統包括濾波器、感溫模塊、邏輯處理器、溫度控制器和電力控制單元，以形成閉環控制；其中，熱電偶采集熱處理設備溫度數據經過濾波器，再經過感溫模塊后進入邏輯處理器，邏輯處理器基于短路異常狀態模型對熱電偶采集的溫度數據進行處理，判斷當前熱電偶的工作狀態生成相應的處理對策，并將處理對策發送給溫度控制器，溫度控制器根據處理對策生成控制參數，發送給電力控制單元執行，其中，處理對策考慮各控溫區間的耦合效應，實現多控溫區間控制協調補償。因此，本發明能判斷出控溫熱電偶的短路故障，且能夠及時切換到相應的控溫模式，保證工藝的繼續進行，將損失降到最低。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人徐冬;王艾;張乾;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201410058381.9
- 申請時間2014年02月20日
- 申請公布號CN103759860A
- 申請公布時間2014年04月30日
- 分類號G01K15/00(2006.01)I;G01K7/02(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;
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