摘要：一種半導體擴散設備中石英反應管的裝卸裝置及方法，該裝置與石英反應管的升降裝置配合使用，升降裝置包括與反應管相接觸的接口法蘭；該裝置包括平移驅動結構、直線導軌、支撐臂和用于可分離地固定石英反應管輔助支撐結構；在裝載過程中，該輔助支撐結構安裝在支撐臂上，通過平移驅動結構前端與半導體擴散設備門框通過固定結構對接，以及支撐臂沿直線導軌將石英反應管平移到升降裝置接口法蘭相對接，平穩完成了石英反應管的裝卸過程。因此,本發明可以減少反應管安裝的時間和風險，方便設備裝配及維護人員的操作。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人林欣家;郝琪;董金衛;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201310628388.5
- 申請時間2013年11月29日
- 申請公布號CN103661527B
- 申請公布時間2016年03月02日
- 分類號B62B3/04(2006.01)I;
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