摘要：本發明公開了一種倒裝鍵合設備中用于各向異性導電膠的熱壓裝置，用于倒裝鍵合設備中對導電膠進行熱壓，其特征在于，該熱壓裝置包括：壓頭組件（2），用于對導向膠進行熱壓；導向組件（1），其設置在一支撐基座（4）上，所述壓頭組件（2）設置在該導向組件（1）上，所述壓頭組件（2）通過該導向組件（1）進行導向移動以完成熱壓；驅動組件（5），其設置在所述導向組件（1）一側，用于驅動所述導向組件（1）直線移動，以實現其對壓頭組件（2）的導向移動。本發明的裝置能夠方便的實現熱壓工藝中的熱壓過程，并且具備壓力穩定性和精度好，熱壓的精度高，結構緊湊等優點。
- 專利類型發明專利
- 申請人華中科技大學;
- 發明人陶波;朱欽淼;程小明;潘衛進;薛天騁;湯朋朋;羅沖;馮夢丹;洪洋;胡越;周鵬;張陽;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區珞喻路1037號
- 申請號CN201310095073.9
- 申請時間2013年03月22日
- 申請公布號CN103280412B
- 申請公布時間2015年09月23日
- 分類號H01L21/603(2006.01)I;
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