摘要:本發明涉及一種顯微角分辨光譜測量裝置,利用傅立葉變換器件,至少包括一個帶有照明系統的顯微鏡、一根光纖,一個精密平移針孔和一個光譜儀,角分辨光譜測量由下述部件實現:將所述的顯微鏡的物鏡當作一種傅里葉變換器件,形成光的角度和焦平面上空間位置的對應關系,光譜儀通過光纖連接至物鏡焦平面上的針孔處,通過移動針孔的位置,獲得不同角度的光譜信息;采用共焦照明系統對樣品進行照明,或者,在圖像平面上利用圖像針孔進行空間濾波,或者,采用共焦照明系統和在圖像平面上利用圖像針孔進行空間濾波,獲得樣品上微米或納米尺度區域的光譜信息。本發明可應用于微納光學領域如光子晶體、薄膜材料、LED等的顯微角分辨光譜檢測。
- 專利類型發明專利
- 申請人上海復享儀器設備有限公司;
- 發明人許春;殷?,|;章煒毅;
- 地址200433 上海市楊浦區國定東路200號3號樓302-1
- 申請號CN201310114735.2
- 申請時間2013年04月03日
- 申請公布號CN103234633A
- 申請公布時間2013年08月07日
- 分類號G01J3/28(2006.01)I;