摘要：本發明公開了一種物體探測系統，其包括載物臺、驅動所述載物臺旋轉的驅動裝置、用于定位所述載物臺的位置的光學編碼器、用于對于載物臺上的目標物體進行探測的探測器以及控制模塊。在掃描模式時，所述控制模塊根據來自光學編碼器的第一分辨率刻度數據去控制所述驅動裝置以第一預定轉速驅動所述載物臺旋轉以進行缺陷掃描。在檢測模式時，所述控制模塊根據來自光學編碼器的第二分辨率刻度數據去控制所述驅動裝置以第二預定轉速驅動所述載物臺旋轉以進行缺陷檢測。一方面，利用低分辨率刻度數據進行高速缺陷掃描，同時結合時間偏差及轉速來精確定位缺陷位置，另一方面，利用高分辨率刻度數據進行低速缺陷定位，從而兼顧了快速掃描和精確的缺陷檢測。
- 專利類型發明專利
- 申請人無錫微焦科技有限公司;
- 發明人何繼中;
- 地址214125 江蘇省無錫市濱湖區錦溪路100號科教產業園軟件園B區6號樓402
- 申請號CN201310060782.3
- 申請時間2013年02月26日
- 申請公布號CN103196915B
- 申請公布時間2015年05月27日
- 分類號G01N21/88(2006.01)I;
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