摘要：本發明提供了一種表面缺陷檢測方法，將待檢測金屬機加件的表面頻譜圖與表面無缺陷的金屬機加件的表面頻譜圖相減，得到缺陷頻譜圖。而缺陷頻譜圖，實際上是將待檢測金屬機加件表面背景的頻譜去除后的頻譜圖。因此，將缺陷頻譜圖進行傅立葉逆變換，得到的是待檢測金屬機加件去除表面背景后的表面圖像。將該表面圖像進行顯示，便可清晰的分辨出待檢測機加件的表面是否存在缺陷，以及缺陷的分布狀況。因此，上述表面缺陷檢測裝置及方法可減弱金屬機加件表面背景對檢測過程的干擾，從而提升缺陷檢測的效果，并提高缺陷檢測速度。此外，本發明還提供一種表面缺陷檢測裝置。
- 專利類型發明專利
- 申請人深圳市大族激光科技股份有限公司;深圳市大族電機科技有限公司;
- 發明人舒遠;李玉廷;王光能;文茜;米野;丁兵;高云峰;
- 地址518000 廣東省深圳市南山區高新技術園北區新西路9號
- 申請號CN201410284824.6
- 申請時間2014年06月23日
- 申請公布號CN104101601A
- 申請公布時間2014年10月15日
- 分類號G01N21/88(2006.01)I;
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