摘要：本發明公開了一種可降低誤差的傳感器及其測量方法，傳感器結構包括：第一基板、第二基板、第三基板、加熱電阻、通孔、第一基板的膜片、第一基板的空腔、第二基板的膜片、第二基板的空腔。測量壓力方法：加熱電阻通電加熱第一基板的空腔，其空腔內空氣熱脹加壓到第二基板膜片；降低加熱電阻的加熱功率；測量第二基板的膜片上的壓力。通過上述步驟，第二基板的膜片可以維持在機械遲滯曲線的卸載線上，能夠避免膜片位置的不確定性問題，遏制機械遲滯偏移造成的誤差，改善壓力傳感器的測量精度。
- 專利類型發明專利
- 申請人南京高華科技股份有限公司;
- 發明人李維平;劉清惓;黃標;周曉;佘德群;
- 地址210049 江蘇省南京市棲霞區馬群科技園神馬路2號
- 申請號CN201210585486.0
- 申請時間2012年12月26日
- 申請公布號CN103076132B
- 申請公布時間2016年10月05日
- 分類號G01L9/00(2006.01)I;
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