摘要：本發明公開了一種兆聲波換能裝置，涉及聲波換能器技術領域，包括：換能器(1)、振子(2)、固定裝置(3)和耦合介質層(4)，所述振子(2)通過所述固定裝置(3)安裝于所述換能器(1)上，所述振子(2)與固定裝置(3)之間設有耦合介質層(4)；所述換能器(1)包括微聲共振腔陣列(8)；所述微聲共振腔陣列(8)分為至少三層，其中相鄰兩層中的共振腔的軸心沿徑向錯開腔直徑的三分之一到一半的距離。本發明能夠有效地減少或消除兆聲波干涉，避免在兆聲波腐蝕清洗工藝中產生一定的晶片表面和特征結構損壞。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人吳儀;馬嘉;初國超;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2號樓2層
- 申請號CN201110355925.4
- 申請時間2011年11月10日
- 申請公布號CN102500540B
- 申請公布時間2014年09月10日
- 分類號B06B1/04(2006.01)I;
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