摘要：本發明提供了具有在線清洗功能的質譜分析儀，所述質譜分析儀包括離子阱，射頻電源，所述射頻電源用于在清洗狀態時給所述離子阱施加恒定電壓，以及在工作狀態時為離子阱施加恒定電壓；真空單元，所述真空單元用于在清洗狀態時使所述離子阱維持在低真空狀態，從而使得所述離子阱的電極在所述恒定電壓、低真空狀態時發生等離子放電，以及在工作狀態時使所述離子阱維持在高真空狀態；控制單元，所述控制單元用于選擇性地使所述質譜分析儀處于清洗狀態、空閑狀態和工作狀態。本發明具有清洗效果好、實施方便、自動化高等優點。
- 專利類型發明專利
- 申請人聚光科技(杭州)股份有限公司;
- 發明人梁炎;鄭毅;劉立鵬;馬喬;
- 地址310052 浙江省杭州市濱江區濱安路760號
- 申請號CN201110284595.4
- 申請時間2011年09月23日
- 申請公布號CN102446692A
- 申請公布時間2012年05月09日
- 分類號H01J49/02(2006.01)I;H01J49/26(2006.01)I;B08B7/00(2006.01)I;
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