摘要：本發明涉及一種采用混合波長、平頂高斯光束進行皮秒脈沖激光加工的系統。該系統由一個皮秒激光光源、一個倍頻裝置，一個折轉反射鏡組、一個用來將普通的高斯光束整形成平頂高斯光束的非球面整形透鏡組、一個擴束系統、一個可以控制移動的反射鏡、一個聚焦鏡、一個控制裝置構成。本發明的激光加工系統可以有效的實現皮秒脈沖激光情況下的平頂高斯光束加工，來在加工件表面進行平整加工。此外，采用精密控制技術，可以有效提高平頂加工范圍，實現寬范圍的平整加工。
- 專利類型發明專利
- 申請人中國科學院光電研究院;北京國科世紀激光技術有限公司;
- 發明人趙天卓;余錦;樊仲維;劉洋;張雪;麻云鳳;閆瑩;
- 地址100190 北京市海淀區中關村東路95號自動化大廈
- 申請號CN201010268576.8
- 申請時間2010年09月01日
- 申請公布號CN102380709A
- 申請公布時間2012年03月21日
- 分類號B23K26/04(2006.01)I;B23K26/073(2006.01)I;
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